成都某半导体技术集成ic工艺生产厂,晶圆工艺操作过程中产生含硅、氟的特出生活污水外理工艺,的设计外理大小1200吨/日。生活污水外理工艺物质僵化,富含微米级硅颗粒状及氢氧化钠,老式外理的方法根本无法及格。
电镀废水材料及收入
主要是被污染的物
:橡胶胶体部分硅(100-500nm孔径)、氟阴离子(200-300mg/L)、异丙醇
來源流程
:晶圆刻蚀废渣(45%)、CMP普通机械机器设备机械机器设备增加光泽废渣(40%)、机器设备消毒水(15%)
整理步奏步奏
创新技能所采用"化学物质沉淀物+持种膜分离法"技能路径:
钙盐悠长岁月中
:污泥脱水氯化钙弄掉氟阴阳离子(绘制CaF2积累)
二沉池反映
:复合型斜板沉淀池剂保证 氢氧化铁硅脱稳
管式微滤
:0.1μm孔直径膜虚报冒领微细粉末
反渗系统软件
:脱盐率>98%,利用率75%
化掉心得
:浓水段实现目标氟化物零减排
进而结果
氟化物溶度:<8mg/L(达不到祖国1级规格10mg/L)
硅浓度:<5mg/L
水市场工业废水处理率:70%用来闭式封闭式冷却塔塔皮肤补水
危废处理减轻:汽化残留物量较传统与现代工艺流程限制60%