某半导体材料集成电路芯片制做厂在晶圆加工生产过程中 中,采用硅烷开始硅概念造成,排放洗條塔呈现高溶度含硅污污水 。污污水 具备着pH振幅大(2-11)、硅含量的高的优势特点,过去治疗最简单的方法易造成硅垢堵赛间题。
污废水 材质及来源于
废水处理最主要的部分为:
溶水性硅酸盐
:SiO₂含量达1000-1500mg/L
浓盐酸/氢氧化反应钠
:洗條塔酸碱性洗條液农药残留
粒子硅
:奈米级SiO₂固体
痕量砷
:原材料溶物带到
外理加工过程流量
去创新用于"二级采和+膜滤水+化掉析出"工艺设计:
第一与
:用CaO转换pH至4-5,添加硅酸钙乳浊液,硅清除率60%。
2级中合
:加Na₂CO₃将pH改善至9,更进一步一个脚印沉淀物中剩下硅,串联用镁剂除砷。
反渗透膜设计
:0.02μm瓷砖膜过虑纳米技术级硅颗粒肥料,通量稳定性在80LMH。
MVR减压蒸馏器
:浓缩提炼高盐污水,晶体出Na₂SO₄副厂品,水工业废水处理率超90%。
后面视觉效果
总硅从1500mg/L低于5mg/L接下来
砷硫含量从0.8mg/L降低0.01mg/L
模式无结渣行驶多于2年
每月回收利用氢氧化钾钠单晶体约800吨