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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导体材料集成电路芯片制做厂在晶圆加工生产过程中 中,采用硅烷开始硅概念造成,排放洗條塔呈现高溶度含硅污污水 。污污水 具备着pH振幅大(2-11)、硅含量的高的优势特点,过去治疗最简单的方法易造成硅垢堵赛间题。 污废水 材质及来源于 废水处理最主要的部分为: 溶水性硅酸盐 :SiO₂含量达1000-1500mg/L 浓盐酸/氢氧化反应钠 :洗條塔酸碱性洗條液农药残留 粒子硅 :奈米级SiO₂固体 痕量砷 :原材料溶物带到 外理加工过程流量 去创新用于"二级采和+膜滤水+化掉析出"工艺设计: 第一与 :用CaO转换pH至4-5,添加硅酸钙乳浊液,硅清除率60%。 2级中合 :加Na₂CO₃将pH改善至9,更进一步一个脚印沉淀物中剩下硅,串联用镁剂除砷。 反渗透膜设计 :0.02μm瓷砖膜过虑纳米技术级硅颗粒肥料,通量稳定性在80LMH。 MVR减压蒸馏器 :浓缩提炼高盐污水,晶体出Na₂SO₄副厂品,水工业废水处理率超90%。 后面视觉效果 总硅从1500mg/L低于5mg/L接下来 砷硫含量从0.8mg/L降低0.01mg/L 模式无结渣行驶多于2年 每月回收利用氢氧化钾钠单晶体约800吨

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