该厂为8英尺晶圆的设备整套搭配的超去离子水系統，一天产生了含硅废水办理150吨。废水办理中虽无高价属，但硅含铁高易积灰，且电阻器率需完成18MΩ·cm才回收利用。本身办工院艺难以拥有新颁行的《电商化学工业水造成的污渍排放标准口规范标准》（GB39731-2020）特别的排放标准口卫生防护距离。 污废水 含量特殊性 主要的被废弃物 ：电解质溶液硅（200-300mg/L）、粉末硅（颗粒直径0.1-1μm） 特殊性规范 ：TOC<10μg/L，硼占比<5μg/L 环境质量性能 ：低导电率（<50μS/cm）但硅有机化合物特性错综复杂 清理加工过程具体流程 转型升级用"梯级膜离心分离+电去铝离子"组装工艺设备： 微滤前处理 ：1μm瓷质膜手机拦截大科粒硅，通量持续80LMH 亚铁离子对换聚酯树脂 ：D201大孔环氧树脂首选性吸附剂硅酸碳原子 中级RO系统化 ：第1段收购 率60%，二是段选取高脱硼膜器件 EDI电去阳离子 ：直流电比热容2A/m²，延续取除残留亚铁离子 红外光谱消菌 ：254nm太阳光的红外光线线服用量40mJ/cm² 高技术工作亮点 发掘专门的阻硅剂（无机胺类分手后复合物），减轻膜被污染频次3倍 EDI方案企业创新流道结构设计，硅的还原率提高至99.8% 百度在线硅探讨仪（衡量空间0.1-500μg/L）满足精确调节 工作成果 经第二方的检测： 总硅从280mg/L减少为0.05mg/L 硼含锌量从8μg/L低于0.3μg/L 系统软件环保再生资源回利用率从原40%提高了至68% 膜换洗时间是缩短至5年，年作业成本预算削减35%