半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
的项目原型
该公司为全球最大最前沿的光电器件测封公司,座落在珠三边形东南部,其主要实现高品质集成块的片区和封装形式测试仪。基于各地绿色环保的要求严谨,公司确定制定一个污水零尾气排放水利工程。的项目于22年开始,2024年6月建设完工投入运营,外理面积为200吨/日,总项目投资约2000来万。
化工废水含量及源
这项意图划区工业废水包括有以下优缺点:
高盐溶度氟化物,其主要产自晶圆裁割后的难以清理工艺程序,氟阳离子盐溶度万代高达150-200mg/L
包含的纳米级级硅粉粒子,比表面积多在100-500nm之間
充分用电负荷较高,COD在500-800mg/L
富含轻微血本属如铅、镉等
导电率高,基本上在2000-3000μS/cm
除理艺工艺流程图
为保证零直接排放受众,施工工艺技术的概念突出需要考虑生产废水区分收录和资源量收旧:
废水处理等级分类处理平台
:将含氟生活污水与各种生活污水分不开搜集
化工积累除氟
:所采用多级钙盐沉定法,配合效率沉定池
高等级脱色补救
:臭氧老化催化反应空气氧化光降解难处理有机质物
膜果汁程序
:按照DTRO碟管式反融合,精炼公因数为10倍
减压蒸馏结晶体
:MVR自动化水蒸汽再挤压汽化器净化处理浓水
干燥处理程序
:将析出盐烘干后用作工业企业副產品外售
解决成果
体统启动数据分析现示:
氟化物清理率>99.9%,留水氟阴离子<1mg/L
COD总洗去率>98%,出液COD<20mg/L
水的资源回收公司率>95%,仅出现大量沉淀盐
历年可的回收利用高高质量循环水约3万吨
析出盐色度可达制造业级规格,变现资源性化灵活运用
建设项目不但保证 了废渣污水处理技术量,还按照影视再生资源回收公司创新了约80十万/年的上限贴现率。