好项目的背景
某大半导体器件生育制造单位坐落长角形省份,包括生育晶圆和电源芯片。在生育操作过程中,晶圆割孔和cnc精密机械加工时间段引发不少精磨液电镀废水,每日摆放量上涨约50吨。致使电镀废水里有效高溶液浓度漂浮物、不锈钢铁离子及可挥发增长剂,单独摆放会对区域环境发生情况严重环境破坏,单位紧缺建成专业的处理措施。
污废水 化学成分及來源
研磨设备液废气通常特征于晶圆生产制作中的电学机械厂cnc精密机械加工(CMP)流程,通常感染物包涵:
漂浮颗粒状物
:二脱色硅、脱色铝等打磨颗料,孔径在0.1-1μm,氧浓度高达模型2000mg/L。
金属质阴阳离子
:铜、铁、锌等,存在镜面抛光垫磨坏及晶圆的表面材料层,铜铝离子盐浓度约50mg/L。
设计生成剂
:是指表面能亲水性剂、阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
腐蚀性性有害物质
:pH值价格波动大,一般说来在2-11中。
处理生产工艺具体流程
对应化工废水因素,使用“预处里+什么是生化+深层次处里”整合技艺:
转换池
:均等化水源供水量,添加图片碱酸调控pH至普通。
混疑水解
:污泥脱水PAC(聚合反应氯化铝)和PAM(聚炳烯酰胺),祛除悬浮物物和橡胶胶体部分,沉降后SS祛除率>90%。
催化反应脱色
:利用Fenton化学制剂(H₂O₂+Fe²⁺)吸附有机的含有剂,COD出掉率达60%。
怪物处里
:MBR膜微生物影响器进一点吸附结余设计物,COD降到100mg/L下面的。
阴阳离子互换
:专门环氧树脂活性炭吸附铜阴阳离子,出液铜含量的<0.5mg/L。
砂滤+活力炭净化
:确认出液明净,到《生活污水综上污染物标淮》(GB8978-1996)五级标淮。
以后成效
装置自动运行动态平衡后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜正离子<0.3mg/L。
工业污水处理率达40%,已满合格产生,年减掉污水产生1.6万吨。
工作代价约15元/吨,远不低于制造行业评均。